
一、靜電(diàn)力學效應:
[靜電放電模擬器]靜電帶電體周(zhōu)圍有靜電場。由於靜電場在正常情(qíng)況(kuàng)下不均勻,靜電場極化的介質顆粒會受到(dào)電場力的影響,受力方向指向帶電體。也就(jiù)是說,無論帶電體有什麽極性電荷,帶電體都會吸引原來沒有帶電的(de)灰塵顆粒(lì)。因此,懸浮在(zài)空氣中的灰塵容易被物體吸附,造成汙染。在半導體設備生產車(chē)間,如果半導體芯片帶有靜電,灰塵會吸附在芯片(piàn)上,大大降低了集成電路的成品率,尤其是超大型集成電路。
在生產(chǎn)過程中,由於同一電荷(hé)的排斥作用和不同電荷的吸(xī)引(yǐn)作用,也(yě)會造成生產損害。例如,在紡織工業中,由於靜電程中,由於靜電的作用,絲綢會漂浮,粘合糾纏,在織造過程中,由於橡膠輥軸與絲紗摩擦產生靜電,導致紗布、掛條、花、斷頭等,降低(dī)了齒梳理能力,影響產品質量和生產效率。在粉末加工行業,由於靜電作用,篩孔變小或堵塞,氣(qì)力輸送管道不暢通,球磨機不能正(zhèng)常運行;在印刷行業和塑(sù)料薄膜包裝生產中,由於靜電的吸引力或排斥,影響紙張的正常分離和堆放,塑料薄膜不能正常包裝和印刷,甚至出現靜電墨點,使自動化生產困難。
二、靜電放電的熱效應:
靜電火花放電或刷形放電一般(bān)在ns或μs級完成。因此,靜電放電過程通常可以(yǐ)看作是一(yī)個絕熱過程。空氣中的靜電放電可以使空氣瞬間電(diàn)離和突破,通過數安培的大電流形成局(jú)部高溫(wēn)熱源,並伴隨著發光和加熱過程。這種局部熱源會引起易燃易爆(bào)氣體的燃燒和爆炸。靜電(diàn)放電過程中產生的瞬時大電流也會(huì)導致火-藥、電-雷-管(guǎn)、電引信等電火裝置意外發生火災,造成爆炸事故。
在微電子技術領域,靜電放電過程通過設備電阻(zǔ)在十分之一微秒(miǎo)內釋放靜電能量,平均功率可達數千瓦。如此大功率的短脈衝電流作用於設備,足以熔化矽片上的微區域,電流集中使鋁連接局部區域球化,甚至燒(shāo)毀PN結合金(jīn)屬連接,形成破壞性的熱電擊穿,導(dǎo)致電路損壞失效。
三、靜電強電場效應:
靜電荷在物體上的(de)積累往往使物體對地麵有高壓,並在附近形成一個強電(diàn)場。介質穿透對電路的(de)危害是由過電壓或強電場而不是(shì)造成的。
四、靜電放電的電磁脈衝效應:
靜電放(fàng)電過(guò)程是電位和電流隨時瞬時(shí)變化的電磁輻射過程。無(wú)論是放電能量小的電暈放電,還是放電能(néng)量大(dà)的火花放電,都能產生電磁輻射。這(zhè)種靜電放電電磁(cí)脈(mò)衝場可以對(duì)各種電(diàn)子設備和信息係統造(zào)成電磁幹擾。對航空、航(háng)天、航海領域和(hé)各(gè)種現代電子設備造(zào)成危害。
傳播刷放電和火花(huā)放電是靜電(diàn)能量相對較大的ESD過程,峰值電流可達數百安培,可形成電磁脈衝串,對微電子係統造成強電磁(cí)幹擾和浪湧效應,導(dǎo)致電路錯誤翻轉或致命故障。即使采取完善的屏蔽(bì)措施,當靜電火花放電發生在(zài)電路屏蔽盒上時,ESD的大電流脈衝仍會在儀器外(wài)殼上產生大壓降,這種瞬時電壓跳變(biàn)會導致(zhì)屏蔽內部電路感應電脈衝,導致電路故障。
五、靜電放電對人體的電擊效應:
當人體接近靜電絕緣導(dǎo)體,或靜電接近接地導體或機械設備等大金(jīn)屬(shǔ)物體時,隻要人體與其他導體之間的靜電場超過空氣擊穿場,就會(huì)形成(chéng)靜電火花放電,瞬時大電流通過人體或人(rén)體的某一部分,使人體被靜電點擊。通常,在日常生活和(hé)工業(yè)生產中,靜電引起的電擊一般不會導致人員傷亡。但可能會出現手指麻木或恐慌等。


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